CVD – Chemical Vapour Deposition

 
 

Die klassischen Meilensteine der Menschheitsgeschichte wurden in der Vergangenheit nach dominierenden Werkstoffen benannt: Steinzeit, Kupferzeit, Bronzezeit, Eisenzeit. In Analogie dazu wäre die kulturelle Entwicklung unserer Industriegesellschaft ab 1970 als  „Siliciumzeit“ zu bezeichnen. In der Tat bildet Silicium als zweithäufigstes Element in der Erdkruste seit rund 40 Jahren die stoffliche Basis für die heute in Beruf und Freizeit allgegenwärtige Mikroelektronik. Wie viel „Chemie“ sich jedoch hinter der Entwicklung und Produktion derartiger elektronischer Bausteine verbirgt, ist leider viel zu wenig bekannt.

 

Microscale-Modellexperimente mit Monosilan


Autor: Prof. Dr. Viktor Obendrauf  († 2010)